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超纯气体处理

作者: 发布时间:2020-05-02 17:00:42点击:203

半导体工业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各类气体氢化物及二元或三元以上的混合气等,它们大部分 是从空气、天然气、石油化工和合成氨厂的残余气体中提取后进一步精制得到,根据原料气来源情况、杂质组份含量、纯度要求来选择相应的制备方法。集成电路发 展到兆位级后,对超净提出了更严格要求,在超纯气体或电子气体供气系统中,为了脱除由于振动或气流冲击所造成的脱落粒子,在使用气前须安装过滤器。

(POU)过滤器是使用ISO 9001认证质量体系在先进的Class 100洁净室中制造的。过滤器是精密焊接在一个特别设计的手套箱与大气净化。去离子水冲洗,然后是高压,0.003μm过滤氮冲洗去除颗粒,并防止颗粒脱落。

我们的POU过滤器根据需要真空干燥至小于10ppb的水分,有机物小于10ppb THC。POU过滤器采用无颗粒,化学清洁,无有机物处理和装袋的方式,可大限度地提高安装在要求较严格的微电子应用中的包装外清洁度。超过半导体加工的高纯度气体处理过滤要求。                   

我们高质量产品经过广泛的测试,以确保其满足半导体制造中气体输送系统的关键过滤效率,准确的流量控制和安全要求。

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